主要参数：
咨询方式：
| 应用分类 | 搬运机器人,洁净机器人 | 分类 | 圆柱坐标机器人 |
|---|---|---|---|
| 负载（kg）： | 1 | 工作范围（mm）： | 213.4 |
| 轴数： | 4 | 安装方式： |
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AHYR2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
AHYR2110F_AHY系列半导体机器人
● 高可靠真空隔离，从容应对高真空环境
● 电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性
● 高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度
● 采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制
臂长：213.4mm
额定/最大负载： ≤1kg
搬运物：≤Φ300mm晶圆
规格参数
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