主要参数：
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| 应用分类 | 搬运机器人,洁净机器人 | 分类 | 圆柱坐标机器人 |
|---|---|---|---|
| 负载（kg）： | 3 | 工作范围（mm）： | 400 |
| 轴数： | 5 | 安装方式： | 落地 |
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TBA4894D_5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。
5轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
TBA4894D_TBA系列半导体机器人
- ● 采用闭环伺服控制
- ● 可根据设备布局定制臂长及Z轴行程
- ● 可选配免电池绝对式编码器
- ● 可选mapping传感器类型：对射式、反射式
- ●可选末端执行器类型：真空吸附式、夹持式、翻转吸附式
臂长:200/260/320/400mm
额定/最大负载:3kg
搬运物: ≤Φ300mm晶圆
规格参数
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