主要参数:
应用分类洁净机器人分类多关节机器人
负载(kg):260工作范围(mm):1908
轴数: 6 安装方式:落地,支架

咨询方式:


品牌:飞鱼

型号M260-19A/VC
最大负载能力(kg)260
真空环境最高支持(Pa)0.00001
臂展(mm)1908
重复定位精度(mm)0.1
运动范围(°)J1

±180

J2+140/-40
J3+160/-155
J4±175
J5±125
J6±360
运动速度(°/s)J175
J250
J365
J4100
J5100
J6150


飞鱼工艺机器人采用特殊材料和工艺,确保机器人在运行过程中不产生尘埃、颗粒等污染物,满足半导体洁净室的高洁净度要求。飞鱼工业机器人采用特殊材料和工艺,符合医疗无菌环境的高洁净度要求,有效防止细菌和尘埃污染

飞鱼机器人选用高精度、高可靠性的机器人本体,确保在洁净环境下稳定运行。采用先进的控制系统,实现机器人精确、快速地完成晶圆上下料动作

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